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產品名稱： VPO-300快速退火爐
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快速退火爐(RTP/RTA)是半導體材料和器件常用的一款工藝設備?？焖偻嘶馉t可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環(huán)境下使用。VPO-300是一款很有特點的快速退火爐，有非常大的退火空間，適合12英寸晶圓或300mm x 300mm大尺寸樣品的熱處理。
儀器特點：
- 快速熱處理、快速熱退火 RTP / RTA；
- 可在真空、甚至于高真空環(huán)境使用；
- 加熱區(qū)域尺寸：300毫米 X 300毫米；
- 廣泛用于太陽能電池片快速退火工藝，如156mm x 156mm電池片，300mm x 300mm電池片等；
參考用戶：
中科院上海技術物理所，中國電子科技集團41所，中鋁集團，西安炬光等；
關鍵詞:
快速退火爐，RTP，快速熱處理爐，
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RTP-150快速退火爐
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